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多晶硅高溫尾氣雜質過濾處理

日期:2020/4/2瀏覽:520次

簡介:

多晶硅 ( 多晶硅,是單質硅的一種形態(tài)。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶硅。 ) 在太陽能利用上,單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使 太陽能發(fā)電具有較大的市場,被廣大的消費者接受,就必須提高太陽電池的光電轉換效率,降低生產(chǎn)成本。從國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。 不論是 改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中 都需要過濾設備 ,用于 收集 硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結合 眾多 項目 生產(chǎn) 經(jīng)驗, 上海奕卿過濾科技有限公司 提出了自己的過濾工藝解決方案。

多晶硅 ( 生產(chǎn)中所遇見的 污染物及雜質 顆粒

1. 未完全反應的硅粉顆粒   2. 循環(huán)液帶入的管道中的雜質 ;   3. 進料帶入的固體粉塵與雜質   4. 合成反應生成的固體雜質 ;

 

這些顆粒 雜質污染物 是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的 主要 原因。 上海奕卿過濾科技 高效的過濾與分離 設備 不僅保護了生產(chǎn)設備的工藝安全,同時也提升了產(chǎn)品 質量與 產(chǎn)量。

 

尾氣過濾應用在多晶硅生產(chǎn)的各個工藝段 , 對多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用 , 尤其目前行業(yè)低位運行期間 , 對多晶硅產(chǎn)品降低成本至關重要

a. 廢氣廢液工位的煙氣過濾   b. 還原爐尾氣分離 ;   c. 氫化爐尾氣分離   d. 硅粉過濾等。

 

1 、 還原尾氣分離

SiCl4 氫化氣和 SiHCl3 還原氣通過干法分離后, H2 HCl 得以回收利用,在 H2 回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉, 保證氫氣純凈,使氫化反應和還原反應更穩(wěn)定、高效。

問題:

要求:

解決:

氫氣為高危氣體

過濾器密封性能良好

采用自動反吹系統(tǒng),無須打開濾器,減少內(nèi)件更換頻次,避免泄露可能

石墨粉 / 硅粉顆粒粒徑微小,硬度高。

過濾精度要求高,防止內(nèi)件穿透。

采用獨特的燒結金屬氈內(nèi)件,過濾孔徑穩(wěn)定,保證過濾性能 , 過濾精度可達 0.1um-0.5um

尾氣溫度高

抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。

奕卿 采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費嚴重的問題。

 

2 、廢氣、廢液焚燒處理

在多晶硅生產(chǎn)工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費嚴重,環(huán)保問題嚴峻。

解決方案:

上海奕卿科技 采用干法分離技術,將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒,生成 SiO2 粉末,通過分離收集 SiO2 粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟效益。同時解決環(huán)保達標排放問題 。

工藝優(yōu)勢:

1 、 廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單 ;   2 、 回收的 SiO2 粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟效益 ;   3 氣體經(jīng)燃燒后,符合環(huán)保要求,可直接放空處理,經(jīng)濟環(huán)保。

 

 

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